1. 대표도

2. 발명의 명칭

기판 결함검사장치 및 기판 결함검사방법(apparatus and method for inspecting defect of substrate)

3. 출원번호 / 출원일자

2022-0113972 / 2022.09.08

4. 등록번호 / 등록일자

2905182 / 2025.12.23

5. 요약

본 기판 결함검사장치는 유체공급부와, 유체공급부로부터 유체를 공급받는 침지부로서, 기판의 검사대상부분이 침지되는 침지부를 포함하고, 침지부는, 윈도우패널을 갖는 제 1 플레이트와, 제 1 플레이트와 나란하게 배치되는 제 2 플레이트로서, 제 1 플레이트와 사이에 공급된 유체가 채워진 유체층이 배치되는 제 2 플레이트를 포함하고, 침지부는, 제 1, 2 플레이트 사이에서 유체층에 침지되는 검사대상부분이 윈도우패널을 통해 외부로 검사가능하게 구성된다.